一、直流磁控溅射电源
技术参数:
型号 | 输出电流 | 输出功率 | 输出电压 | 输入电压 | 冷却方式 | 外形尺寸 |
ZL-10KW | 0-12.5A | 0-10KW | 0-800V/1000V | 380V+N | 水冷+风冷 | 480*280*580mm |
ZL-20KW | 0-25A | 0-20KW | ||||
ZL-30KW | 0-37.5A | 0-30KW | ||||
ZL-40KW | 0-50A | 0-40KW | ||||
ZL-60KW 主机+从机 | 0-75A | 0-60KW |
二、中频磁控溅射电源
技术参数:
型号 | 输出电流 | 输出功率 | 输出电压 | 输入电压 | 冷却方式 | 外形尺寸 |
ZP-10KW | 0-12.5A | 0-10KW | 0-800V/1000V | 380V+N | 水冷+风冷 | 480*280*580mm |
ZP-20KW | 0-25A | 0-20KW | ||||
ZL-30KW | 0-37.5A | 0-30KW | ||||
ZP-40KW | 0-50A | 0-40KW | ||||
ZP-60KW 主机+从机 | 0-75A | 0-60KW |
技术参数:
型号 | 输出电流 | 输出功率 | 输出电压 | 输入电压 | 冷却方式 | 外形尺寸 |
PY-10KW | 0-12.5A | 0-10KW | 0-800V/1000V | 380V+N | 水冷+风冷 | 480*280*580mm |
PY-20KW | 0-25A | 0-20KW | ||||
PY-30KW | 0-37.5A | 0-30KW | ||||
PY-40KW | 0-50A | 0-40KW | ||||
PY-60KW 主机+从机 | 0-75A | 0-60KW |